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加速度傳感器靈敏度提高百倍以上
來源:科技日報 發表于 2020/7/1

科技日報消息,東京工業大學校長益一哉等人與NTT尖端技術公司利用包含多個金屬層的積層金屬結構,成功開發出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS(微機電系統)加速度傳感器,與以往相同尺寸的傳感器相比,靈敏度提高百倍以上,噪聲降至十分之一以下。這一創新技術實現其通用化,可用于醫療保健、基礎設施診斷、移動體控制、機器人(13.820, 0.15, 1.10%)應用等各種運動檢測中,有助開發新的器件和系統。

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