產(chǎn)品中心 應(yīng)用方案 技術(shù)文摘質(zhì)量保證產(chǎn)品選型 下載中心業(yè)內(nèi)動態(tài) 選型幫助 品牌介紹 產(chǎn)品一覽 聯(lián)系我們
- 研究設(shè)計(jì)出圖形化氧化銦錫膜臭氧傳感器
- 來源：合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 發(fā)表于 2026/3/6
近日，中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等，以常規(guī)氧化銦錫玻璃為基體，采用飛秒激光刻蝕與等離子體刻蝕工藝，設(shè)計(jì)了基于圖形化氧化銦錫膜的臭氧傳感器。該傳感器憑借獨(dú)特的自加熱設(shè)計(jì)和等離子體表面改性技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對微型環(huán)境級（ppb）臭氧的精準(zhǔn)、快速、穩(wěn)定監(jiān)測。
近地面臭氧污染是大氣監(jiān)測的重點(diǎn)，開發(fā)微型環(huán)境級臭氧傳感器備受關(guān)注。針對傳統(tǒng)金屬氧化物半導(dǎo)體臭氧傳感器面臨的外部加熱易分解臭氧、濕度干擾大、晶圓級量產(chǎn)一致性差等問題，團(tuán)隊(duì)提出了全新的自上而下的自加熱氧化銦錫傳感器制造策略。
該策略以商用氧化銦錫玻璃為基底，通過飛秒激光刻蝕形成蛇形電極結(jié)構(gòu)；采用氬氫等離子體刻蝕，對平滑的氧化銦錫膜粗糙化，提升了臭氧的吸附及電荷交換。在激光切片后，最終制成尺寸僅為1.4×2.1×0.3 mm3的微型臭氧傳感器。這一傳感器通過自加熱的方式，無需外加熱，將敏感區(qū)局域溫度升至180 ℃，避免了傳感器周邊臭氧分子的分解消耗。氧化銦錫傳感器對臭氧選擇性高、受環(huán)境濕度干擾弱，可準(zhǔn)確監(jiān)測20–1000 ppb臭氧，與國際“金標(biāo)準(zhǔn)”紫外吸收法分析儀相關(guān)性達(dá)93.6%。
該傳感器制備工藝簡單、易實(shí)現(xiàn)晶圓級批量制備，性能一致性高，能夠滿足室內(nèi)外臭氧大氣污染網(wǎng)格化精細(xì)監(jiān)測需求。
相關(guān)研究成果發(fā)表在《納米快報》（Nano Letters）上。研究工作得到國家自然科學(xué)基金等的支持。
- 如果本文收錄的圖片文字侵犯了您的權(quán)益，請及時與我們聯(lián)系，我們將在24內(nèi)核實(shí)刪除，謝謝！
